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Messsystem zur ortsaufgelösten optischen Charakterisierung dünner Schichten

Publication, 2008

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F. Mayrhofer, G. Zauner, G. Hendorfer, G. Darilion, T. Müller - Messsystem zur ortsaufgelösten optischen Charakterisierung dünner Schichten - Proceedings of FFH2008, Wels, Austria, 2008, pp. 9999