Silica coatings on steel substrates deposited by bipolar pulsed DC PACVD
Publikation, 2006
Outline
C. Forsich, D. Heim, T. Müller - Silica coatings on steel substrates deposited by bipolar pulsed DC PACVD - Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering , Braunschweig, Deutschland, 2006, pp. 1
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