Publikation

PACVD zur Abscheidung Si-hältiger Kohlenstoffschichten

Publikation, 2008

Outline

C. Forsich, D. Heim, D. Müller - PACVD zur Abscheidung Si-hältiger Kohlenstoffschichten - Proceedings FH Science Day 2008, Linz, Österreich, 2008