PACVD zur Abscheidung Si-hältiger Kohlenstoffschichten

Forschungsschwerpunkte:

• Werkstoff- und Produktionstechnik

Personen:

• Prof. (FH) Dipl.-Ing. Dr. Daniel Heim
• DI Dr. Christian Forsich
• Daniel Müller

Forschungseinheiten:

• Fakultät für Technik und Umweltwissenschaften, Wels
• Research Center Wels

Wissenschaftsgebiete:

• Werkstofftechnik2127